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 | 电子束蒸发台ZZS550-3/D 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 |
 | 键合机 型号：EVG501 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱：  电话：13911087007 |
 | 基片键合系统 型号：SUSS SB6 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 磁控溅射系统SF Research－2 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 磁控溅射系统Varian3180 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 等离子化学清洗淀积 型号：STS PECVD 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 低压化学汽相淀积系统 型号：ASM LB35 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 匀胶显影系统 型号：Solitec 836 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 反应离子刻蚀机 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 氧化硅深刻蚀机 型号：STS ICP AOE 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
 | 高深宽比硅刻蚀机 型号：STS ICP 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
| 双面光刻机EVG620 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱：  电话：13911087007 |
| 双面光刻机SUSS MA/BA6 实验室：微米/纳米加工技术国家级重点实验室 联系人：李 婷 邮箱： 电话：13911087007 |
 | 超声波清洗器 实验室：纳米实验室 地址：北京市海淀区清华大学机械工程系 机北楼213室 联系人：朱宏伟 电话：010-62781065 链接：http://learn.tsinghua.edu.cn:8080/2008990024/Homepage2/treat.htm |
 | 真空干燥箱 实验室：纳米实验室 地址：北京市海淀区清华大学机械工程系 机北楼213室 联系人：朱宏伟 电话：010-62781065 链接：http://learn.tsinghua.edu.cn:8080/2008990024/Homepage2/treat.htm |
 | 电动离心机 实验室：纳米实验室 地址：北京市海淀区清华大学机械工程系 机北楼213室 联系人：朱宏伟 电话：010-62781065 链接：http://learn.tsinghua.edu.cn:8080/2008990024/Homepage2/treat.htm |
 | 匀胶机 实验室：纳米实验室 地址：北京市海淀区清华大学机械工程系 机北楼213室 联系人：朱宏伟 电话：010-62781065 链接：http://learn.tsinghua.edu.cn:8080/2008990024/Homepage2/treat.htm |
 | 超净工作台 实验室：纳米实验室 |